Bu raporda, IEST-STD-CC1246D temizlik testi için 4 inçlik bir silikon wafer numune plakası şekilde gösterilmiştir.

Şekil 1-wafer da bulunan en büyük parçacığın görüntüsü raporda gösterilir.

Bulunan tüm parçacıklar ölçülmüş ve dağılımları bu grafikte rapor edilmiştir. Her bir boyut aralığı için partikül sayımı belirlenir ve kabul edilebilir maksimum sayımlarla karşılaştırılır.

                                                                                          Şekil 2-3 (Analiz Raporu)

           Şekil 6 :  LV100ND                   Şekil 7 : Motorize Sistem                       Şekil 8 : Clemex Yazılımı

Ekipman seçiminde dikkat edilmesi gereken noktalar,

1. Partikülleri en net şekilde görmek için alttan aydınlatmalı mikroskop kullanılmalıdır. Bu şekilde hazırlanan filtreden ışık numune den geçerek net bir görüntü sağlar.
2. Manuel sayım çok zor olacağı için motorize sistem gereklidir. Motorize sistem ile numuneyi tamamen tarayarak tüm partikülleri yakalayabiliriz.
3. Yazılım , otomatik analize ve analiz içinde mudaheleye elverişli olmalıdır. Bu sayede, gözden kaçan noktalar düzeltilebilir.