Günümüzün dünyasında giderek artan şekilde minyatürleştirilmiş elektronik ürünler, mikroelektromekanik sistemler (MEMS) ve nanoelektromekanik sistemler (NEMS), modern mühendislik metotları ile nelerin başarılabileceğinin standartlarını belirlemektedir. Bu cihazlar tipik olarak yarı iletken endüstrisinde bulunanlara benzer teknikler kullanılarak üretilse de (fotolitografi ve muhtelif biriktirme işlemleri gibi) üreticiler, bu cihazların geniş yüzeyden hacim oranına neden olan varyansların farkında olmalıdır. Bu ölçeklerde, normal tasarım ve üretim kuralları elektrostatik ve ıslatma gibi yüzey etkileri olarak bulanıklaşmaya başlar.

MEMS için uygulamalar ve araştırma alanları, egzotikden her güne kadar değişmektedir, ancak bunlar en yaygın olarak aşağıdakileri içeren bir 'akıllı' teknoloji için kullanılmaktadır:

• Yakıt basınç göstergeleri ve hava akış sensörleri
• Fren sensörleri
• Geliştirilmiş hava yastığı dağıtımı için ivmeölçerler
• Aktüatörler ve konsollar
• Mürekkep püskürtmeli yazıcılarda sprey püskürtmek için mikronozz
• Seyir jiroskopları
• Mikrorobotik
• Çevresel değişikliklerin tespiti için 'akıllı toz'

Önemli ölçüde farklı uygulamalara rağmen, bu teknolojilerin her biri ortak üretim yöntemlerini ve örneğin kalite kontrol süreçlerini paylaşmaktadır, örneğin stereomikroskoplarla yüksek çözünürlüklü ışık mikroskobu, hataların ve döküntülerin incelenmesinde kullanılabilir; motorize yansıyan ışık, endüstriyel ve yarı iletken mikroskop sistemleri, karanlık alan, DIC, polarizasyon, epi-floresan ve çift ışınlı interferometre gibi çeşitli genel analitik teknikler için kullanılabilir.

Son zamanlarda, MEMS sistemlerindeki kalite kontrol analizine video ölçüm sistemleri de uygulanmıştır, çünkü bunlar son derece yüksek doğruluk sunar ve çok çeşitli uygulamaların özel görüntüleme gereksinimlerine uyacak şekilde kolayca özelleştirilebilir.