Döner Sensörler JEOL'un orijinal ürünleridir. Bu Döner Sensör, kristal salınım tipi film kalınlığı kontrolörü için kullanılır ve vakum biriktirme işleminde bir birikme oranını ve film kalınlığını izlemek için kullanılır. Döner Sensörün kafasına 6 veya 12 kristal eklenir. Bir kristal arızası meydana geldiğinde, kristal otomatik olarak hareket eder ve yeni kristal kullanarak sürekli buharlaşma işlemini mümkün kılar. Algılama deliği sabit bir konumdadır, bu nedenle her kristal hareketinde takım faktörünün değerinin değiştirilmesine gerek yoktur. Uzun

 

süreli ve kalın veya çoklu film kaplama işlemi için kullanışlıdır. 2 tip sensör kafamız, 180 ° (düz) tip ve 45 ° tipimiz var.

 

 

 

 

 

(A) Döner Sensör başlığı (B) Döner Sensör (Gövde) (C) Elektromanyetik valf kiti
spec model Uzunluk * model spec model
180 °
(Düz)		 BS-04120SSH 200 mm BS-04010SSR 5V BS-04160KIT
300 mm BS-04020SSR
350 mm BS-04030SSR
400 mm BS-04040SSR
450 mm BS-04050SSR
480 mm BS-04060SSR
45 ° BS-04130SSH 500 mm BS-04070SSR 24V BS-04170KT
540 mm BS-04080SSR
Uzunluk: 545 mm BS-04090SSR
580 mm BS-04100SSR
650 mm BS-04110SSR
   

* Sensör kafası dahil uzunluk kısmı vakum odasına yerleştirilir

 

Döner Sensör başlığı (180 °) + Döner Sensör (200mm) + Elektromanyetik valf kiti (5V)
BS-04120SSH BS-04010SSR BS-04160KIT