JBX-3050MV serisi, 45 ila 32 nm tasarım kuralını karşılayan maske / retikül üretimi için bir elektron ışını litografi sistemidir. Bu sistem, üst düzey teknoloji ile elde edilen yüksek hız, yüksek doğruluk ve yüksek güvenilirlik ile desen yazma özelliğine sahiptir.
Pozlama Yöntemi | Vektör tarama, değişken şekilli ışın |
Hızlanma Gerilimi | 50 kV |
Elektron Tabancası Yayıcı | LaB 6 tek kristal |
Pattan | ≤ ± 4 nm (3δ) |
Yazma Pozisyonu Doğruluğu | ≤ ± 10 nm |
İnternet sitemizde çerez kullanılmaktadır. Çerezler hakkında detaylı bilgi için Çerez Politikası’nı inceleyiniz. Devam etmeniz halinde çerez kullanımına izin verdiğinizi kabul edeceğiz.