JBX-9500FS, spot ışın, Vektör tarama ve adım ve tekrar aşaması içeren bir elektron ışını litografi sistemidir. Işın boyutunu geniş ölçüde değiştirebilen sistem, temel eleman araştırmalarından optik elemanların üretimini test etmeye kadar yüksek hızlanan voltaj maruziyeti için maskeler için araştırma ve geliştirmeye kadar çok yönlüdür. Dinamik düzeltme sistemi ışın sapmasından kaynaklanan bulanıklığı ortadan kaldırır.