Taramalı elektron mikroskopları (SEM'ler) yalnızca araştırma için değil, aynı zamanda kalite güvencesi ve üretim yerleri için de vazgeçilmez araçlardır.
Bu sahnelerde aynı gözlem süreçlerinin tekrar tekrar yapılması ve sürecin verimliliğinin artırılması ihtiyacı doğmuştur.

JSM-IT510 ile, yeni eklenen Basit SEM işlevi, kullanıcıların SEM gözlemi için gerekli olan "manuel tekrarlı işlemi ona bırakmasını" sağlayarak SEM gözlemini daha verimli ve kolay hale getirir.

 

 

 

Yararları ve Özellikleri

Özellikleri

JSM-IT510 serisi aşağıdaki 4 konfigürasyonda donatılabilir: BU (Temel Ünite) / A (Analiz) / LV (Düşük Vakum) / LA (Düşük Vakum ve Analiz).

BU (Temel Birim)

Yüksek vakum altında gözlem için temel tip

A (Analiz)

Analiz tipi, EDS standart olarak BU'ya eklenir

AG (Düşük Vakum)

Yüksek ve düşük vakum işlemi için Düşük Vakum tipi. YATAK dahildir.

LA (Düşük Vakum ve Analiz)

Düşük vakumlu tip, yüksek ve düşük vakumlu çalışma için, BED ve EDS dahildir.

Avantaj ve Özellikleri

Çözünürlük
  • Yüksek vakum modu　
  • 3.0 nm (30 kV), 15.0 nm (1.0 kV)
  • Düşük vakum modu* 1　
  • 4.0 nm (30 kV YATAK)

Fotoğraf büyütme
  • ×5 ila ×300.000 
    (128 mm × 96 mm fotoğraf boyutuyla tanımlanmıştır)

Ekran büyütme
  • ×14 - ×839.724
    (358 mm × 296 mm fotoğraf boyutuyla tanımlanmıştır)

Elektron silahı
  • W filament, tam otomatik tabanca hizalama

hızlanma voltajı
  • 0,3 kV - 30 kV

sonda akımı
  • 1 pA ila 1 μA

AG basınç
ayarı* 1
  • 10 ila 650 Pa

Objektif lens açıklığı
  • XY ince ayar fonksiyonu ile dört kademeli

Otomatik fonksiyon
  • Filament ayarı, Tabanca hizalama ayarı
  • Işın hizalama
  • Odak/ Astigmat / Parlaklık / Kontrast düzeltme

Maksimum numune
boyutu
  • 200 mm çap × 75 mm yükseklik
  • 200 mm çap × 80 mm yükseklik* 3
  • 32 mm çap × 90 mm yükseklik* 3

numune aşaması
  • Büyük ösantrik sahne
  • X：125 mm Y：100 mm Z：80 mm
  • eğme: -10 ila 90° dönüş: 360°

Görüntü modu
  • İkincil elektron görüntüsü, REF görüntüsü, Kompozisyon görüntüsü* 1
  • Topografik görüntü* 1 , Gölge görüntü* 1、PD görüntüsü* 4

Görüntü boyutu
  • 640 × 480 1.280 × 960
  • 2.560 × 1.920 5.120 × 3.840

Fotoğraf yardımı işlevi
  • Montaj, Basit SEM, Zeromag, Canlı 3D

Operasyon destek
fonksiyonu
  • Tarif (Standart tarif / Özel tarif)
  • Ölçüm (2 nokta arasındaki mesafe, paralel çizgiler arasındaki mesafe, açı, çap vb.)
  • Numune değişim navigasyonu
  • Sinyal derinliği fonksiyonu
  • 3D ölçüm* 5

işletim sistemi
  • Microsoft® Windows® 10 64bit _

gözlem monitörü
  • 23,8 inç dokunmatik panel

EDS işlevleri* 2
  • EDS spesifikasyonuna bakın

Veri yönetimi
  • SMILE VIEW™ Laboratuvarı

Rapor oluşturma
Tek tıklama raporu
  • Microsoft ® Word'e çıktı
  • Microsoft ® PowerPoint* 6'ya çıktı

Dil anahtarı
  • Japonca, İngilizce, Çince* 7 (UI'de çalıştırılabilir)

Vakum sistemi
  • Tam otomatik, TMP: 1, RP: 1 veya 2* 1

Ürün Tanıtım Videoları

Ürün Broşürleri